В настоящий момент предприятие «Совтест АТЕ» в кооперации с «Русской ассоциацией разработчиков, производителей и потребителей микромеханических систем» готово обсуждать с заказчиками возможность изготовления 1- и 2-осевых МЭМС-зеркал различных типов и с различными характеристиками:
МЭМС-зеркала с пьезоэлектрическим приводом
1-осевые микросканеры
- Диаметр 1…2 мм
- Оптический угол развертки до 106
- Рабочая частота 16…60 кГц
- Низкое рабочее напряжение
- Низкое энергопотребление
2-осевые микросканеры
- Диаметр 1…7 мм
- Крепление на рамке или без
- Оптический угол развертки до 32
- Рабочая частота 0,1…29 кГц
- Поступательное смещение до 1600 мкм
- Низкое рабочее напряжение
- Низкое энергопотребление
Сферы применения:
- Лазерные проекции
- Приборные панели на ветровом стекле
- Конфокальная лазерная сканирующая микроскопия
- Поворотное сканирование
- Преобразователи Фурье для ИК-спектроскопии
- Принтеры
МЭМС-зеркала с электростатическим приводом:
1-осевые микросканеры
- Герметичная упаковка
- Оптический угол развертки > 40°
- Рабочая частота 1,6 кГц
- Диаметр 2 мм
2-осевые микросканеры
- Оптический угол развертки > 40°
Рабочая частота > 500 Гц (по оси наименьшей скорости распространения света), > 17 кГц (по оси наибольшей скорости распространения света) - Диаметр 1 мм
- Рабочая частота 10 Гц … 20 кГц
- Оптический угол развертки > 30°
- Диаметр 1 мм
Сферы применения:
- Головные дисплеи (дисплеи-очки)
- Распознавание жестов
- Индикация на лобовом стекле
- Мощные лазеры
- 3D камеры
- Автомобильные приборные панели
- Проецируемые виртуальные клавиатуры
- Инфракрасное изображение
- Автомобильные лидар-системы
- Конфокальная лазерная растровая микроскопия
- Дактилоскопические датчики
- Световые завесы
- Репрография
- Лазерные принтеры
- Оптическая когерентная томография
- Эндоскопия
- 3D дисплеи
